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干式機械真空泵的應用與相關性能比較


    首先來講,我們其實也就是要注意就干式機械真空泵其實也就是會應用在了低壓化學氣相沉積當中的多晶硅制備工藝;再者,就干式機械真空泵其實也就是會應用了半導體刻蝕工藝。處于這些生產工藝當中,這時候,其實也就是會用到或者是生成腐蝕性氣體與相關的研磨微粒。

   再者,就干式機械真空泵的應用來講的話,除了半導體工藝之外的某些產生微粒的工藝,不希望微;烊氲奖糜彤斨,且希望微粒排出泵之外會用到此設備;就其處于化學工業、醫藥工業或者是食品工業當中的蒸餾、干燥、脫泡以及其包裝等,要注意去防止有機溶劑所造成污染,適合用干式真空泵。

   緊接著,也就是要注意應該是要做一般無油清潔真空系統上的前級泵,這時候也就是能防止油出現污染。

   再者,我們其實也就是要注意一下,就不同的真空泵性能比較,首先也就是要注意去觀察一下其真空度,就干式螺桿真空泵、爪式真空泵以及其無油渦旋真空泵極限真空度都比較高,高極限真空也就是會達到1-2Pa;緊接著,我們其實也就是要注意就其無油往復真空泵也就是粗真空設備,極限真空度比較低,需要進行搭配羅茨真空泵來進行提高其極限真空。

   就無油渦旋真空泵來講,因為其內部結構問題,抽氣量比較小,只適用于小抽氣量的工藝當中;干式螺桿真空泵型號上比較齊全,這時候,也就是會比較適用大抽氣量工藝當中,接下來講的話,我,我們其實也就是要注意就其本身也就是會配合羅茨真空泵能在很大的程度上也就是能滿足不同種類的客戶的需求。

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